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第307章 初光测试成功

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倍。

原本平滑的硅片表面,此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。

贺建国的手指在键盘上快速敲击,调出测量工具,将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。

滴。

屏幕右上角,一个绿色的测量数据跳了出来。

【线宽:64.7 nm】

不仅达到了65纳米的标准,而且线条边缘极其锐利,没有丝毫的毛刺、晕染和断层,曝光均匀度堪称完美。

整个实验室在这一瞬间陷入了死一般的寂静。

紧接着,“轰”的一声,巨大的欢呼声几乎要掀翻实验室的屋顶。

“成功了!”

“65纳米!初光测试完美通过!”

“干出来了!我们真特么干出来了!”

几名年轻的工程师直接抱在一起嚎啕大哭,那些上了年纪的专家则是激动得浑身发抖,互相用力拍打着对方的后背。

贺建国坐在操作台前,看着屏幕上的数字,眼中竟有些进沙子了,可是在这光刻机实验室里面哪有沙子啊!

会议室里,同样是长出了一口气。

周局长重重地把茶杯放在桌面上,连说了三个“好”字。林副部长和科技部的领导们互相击掌,脸上满是如释重负和狂喜。

“小许!”周局长转过身,一把握住许晨的手,用力摇晃了两下,“你们天宇立下大功了!华国的半导体脊梁,今天算是挺直了一截啊!”

“是大家共同努力的结果。”许晨脸上也露出了由衷的笑容。

“走,咱们下去看看这群功臣。”周局长一挥手,带领众人通过专用电梯,经过严格的除尘程序后,走进了下方的主控室。

看到高层领导和许晨走进来,实验室里的欢呼声稍微平息了一些,但众人眼中的狂热依然无法掩饰。

贺建国大步走上前来,先是向周局长等人敬了个礼,随后径直走到许晨面前,紧紧握住他的手,语气激动而郑重:“许总,谢谢你。没有你们天宇真金白银砸出来的三大件,上微电子今天就是无米之炊。你不仅救了上微,也给咱们国家的半导体工业留了底气!”

“贺总工言重了,这是国内所有科研人员共同的结晶。”许晨拍了拍贺建国的手背,随即切入正题,“贺总工,今天初光测试成功了,说明机械和光学协同没有问题。我想问个最实际的问题,这台机器,什么时候能真正量产?


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