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第93章 力排众议(上)

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的,提升光刻机的分辨率这种说法几乎可以等同于胡说八道。

台下来自水木大学的研究生们此时更是纷纷炸开了锅,他们倒是听自己的导师提到过此次任务的艰巨性,但没想到王向中一开始就跳出来给他们安排了一个几乎不可能的任务。

“王师弟,我有一个问题。”台下的黄晓明突然举手道,“这可不是光凭你一句话就能决定的事情,提升光刻机工艺是一件很复杂的事情。”

尽管他已经在白马和金圆圆口中听到了关于王向中的诸多传说,但他相信眼见为实,耳听为虚,因此也趁机提出了自己的质疑。

“问的不错,”王向中笑道。台下诸位的反应并没有出乎他的意料,现在自己遭到众人的质疑也是相当正常。

“根据瑞利衍射定理,光刻机的分辨率受影像对比度、光源波长和数值孔径影响。早在你们来之前,我就已经参观过了晶华的净室,5英寸生产线所使用的光刻机型号是康尼NSR-1010g,属于一台i线光刻机。”

“i线光波长在为365nm,所以理论上它最高可以支持0.35微米分辨率。”

这个年代的光刻机既没有双工作台,浸润式光刻技术还没有被发明出来,因而王向中也只能保持这个年代公认的说法。

“光源波长已经定死了,所以我们剩下能做的,就是提高基础工艺水平,以及提高数值孔径。”

听到这些话,台下的研究生们脸色才算是好看了一些,但如果只是这点理论的话,也完全不足以支撑整个改进工艺,于是便有人忍不住说道:“那我们怎么提高数值孔径呢?”

“数值孔径的提升有两个办法,那就是改良透镜组,提升它的外镜直径,或者是减小透镜曲率半径,两者都是比较好的选择。”王向中沉吟道。

“改良透镜组……”台下一名戴眼镜的IE工程师(Industrial Engineer,工程工艺工程师)终于忍不住了,似是有些不屑地提问道:“外镜直径说提升就能提升?透镜难道可以手工打磨?你简直是在胡说八道,我真是听不下去了。”

“你是不是以为自己能比康尼研发部还聪明?他们做不到的事情你就能做到,你以为你是谁?”他继续嘲讽道,“你知道镜头玻璃的技术指标吗?先不说咱们能不能把镜头造出来,你们现在难道已经有了设计图纸吗?”

听到这话,不少人也是脸色一变,看向王向中的眼神也不太信任起来。

“这几台康尼光刻机的


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