沉思之中。
的确如江超所言,光刻机镜头的最大难度不在设计,而在于工艺实现这一步,不仅是材料很难搞,合成石英需要降应力、提纯度、去气泡条纹,还有超高面型精度的镜片加工,打磨、测量、装配等等工作都够他们一群人吃一壶了。
所以应用现有的镜头结构,通过部分技术参数的调整,同样也可以实现数值孔径提高的要求。
“我有一个大胆的想法,斗胆一说,还请大家多多分辨分辨。”江超调整了一下护目镜,“我们可以尝试在照明上多做一些功夫,比如采用离轴照明法、四极照明法,环形照明法或者是倾斜照明法。”
“当然镜头上也要有改进,通过对温度、气压补偿来实现倍率补偿,从而改善线宽质量和提高分辨率!”
42796529
牧狼童提醒您:看完记得收藏【普天书屋】 www.petjiaopian.com,下次我更新您才方便继续阅读哦,期待精彩继续!您也可以用手机版:m.petjiaopian.com,随时随地都可以畅阅无阻...