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第115章 第二次流片

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看着光刻机上的荧屏,心中默默祈祷着这次一定要成功。

此时距离春节已经过去了一个月,现在正是光栅实验的关键时刻。

这已经是第二次流片实验了,第一次流片实验失败了,因为经验不足,导致做出来的掩膜出现了一些小小的瑕疵,最终导致整块晶圆报废。

大概的问题,就是光刻机的工作水平没有达到预期状况,利用了光的衍射,自然就要对掩膜有所改动,才能保证最终制作出来的芯片和设计图一致。

经过分析后,众人也是明白了过来,高压汞灯经过这次调整后,光强度明显出现了问题——因为光强度不够,直接导致光刻胶溶解不充分,在蚀刻这道工序上,直接变报废了大半块晶圆。

而少数幸运存活下来的芯片,其蚀刻质量也很有问题,即使是能通电正常运作,要么就是存储容量不达标,要么就是读写速度不达标,总而言之——问题很大。

“这还是闪存芯片,要是真的做处理器芯片,恐怕问题会很大。”江超郁闷地不行,明明模拟的各项指标数据都没什么问题,实际上在光源的模拟上,整个团队也是下了大功夫,当初在计算中时还特地拿出来讲过,不过在模拟上却没发现光强度存在什么问题。

究竟是因为什么,才导致最终的成品和预想的差距特别大呢?

总结了上次失败的原因后,这次调整了高压汞灯的电压,提高了大约20%的阻尼和能量输出,再延长了数十秒的曝光时间,以力求一次性让改进后的光刻机通过验收。

“没关系的,失败也很正常。”王向中笑了笑,说道。

尽管此刻他表面上十分冷静,但内心却还是不免有所担忧——流片的成本是很贵的,一方面是长期的时间跨度,另一方面是材料费用昂贵。

一张硅片,最起码要在各道工序之间来回流转至少半个月,才能最终拿出成品。

这已经算是快了,要知道完整的流片工艺,半个月的时间根本不够用,芯片的流片从材料准备开始,到最终封装结束,需要足足至少三个月的时间。

而且李东已经给足了面子,答应给研究小组免费提供实验材料,但要是再失败下去,即使是王向中,也不好意思再免费索取第三次实验材料了。

而这一次的晶圆已经送入了光刻机,即将完成最后一道工序,大家也都很期待这次的结果,所以皆是站在在光刻机前,等待最后的判决下发。

“晶圆出来了。”有人喊了一声。


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