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第1157章 光刻机瓶颈!缺核心刀

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。瓶子里的液体,颜色各异,有的是淡淡的琥珀色,有的接近透明,有的则如同流淌的紫玉髓。

这就是龙夏在光刻技术领域实现惊世突破的另一根支柱——“蚀影”光刻胶!旁边是密密麻麻的实验数据图谱和一排排闪烁着微光的控制单元。实验室中央的巨大浸没式分步重复投影光刻样机正在安静地演示着。

激光透过高级数值孔径透镜投射到涂胶晶圆表面,在精密控制的水膜浸没环境下。旁边的实时显示器上,赫然生成了一条条精细的结构线条,分辨率测定结果在7nm的标尺附近稳稳跳动!

这代表龙夏的“蚀影”胶+浸没式工艺组合,硬生生将ArF光源的潜力挖尽,达到了足以媲美昂贵且被严禁出口的EUV光学系统的精度!从理论到小规模流片验证,这条路被走通了!

这任何一项成果单独放出去,都足以震动整个全球半导体产业,引发科技版图的大洗牌!

它们本该是实验室里疯狂庆祝的资本。

然而……

所有人目光的焦点,都汇聚在实验室中心那一片空旷的区域。

那里停着一台庞大而精密的机械设备框架,但关键的部位——核心光源模组和最重要的物镜镜头组,却被巨大的真空防尘罩小心翼翼地笼罩着。

透过罩子的窗口,能看到框架中本该放置最核心“工具心脏”的位置,只剩下一些接口和精密的机械臂基础,还有几根用于测试信号的光秃秃光纤探头延伸出来。

它像一具失去了引擎和翅膀的空壳机甲巨人。

“基础有了!尖端材料昆仑胎玉,我们有了!世界级的光刻胶和工艺突破蚀影,我们也做出来了!”

王教授指着左右两项成果,声调并没有自豪,反而充满了苦涩和不甘,他使劲拍了一下身旁冰冷的设备基座。

“可光刻的心脏呢?!

这颗能将我们在图纸上的设计、将硅基材料上的蚀影胶刻蚀成实际电路的雕刻刀在哪里?!没有光刻机,这些顶级硅片,这些神乎其技的光刻胶,就是最顶级的原材料和最好的墨水!没有笔!没有笔啊!!”

李老布满老年斑的手紧紧握着拐杖头,声音低沉得像是从牙缝里挤出来。

“西方那群混蛋,是铁了心要把我们摁死在28nm这条线下!EUV?别说整机、核心部件!连颗关键螺丝,一支配套的镜头清洗液都要加进限制名单!至于DUV?哼,老黄历!

他们最新的禁运清单连十年前的高端型号


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