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第四十四章 临时想到的伪装计划

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  许秋将蚀刻失败的基片处理掉,开始思考失败的原因。

一方面可能是蚀刻时间过长;

另一方面可能是胶布与基片之间存在有气泡,或者它们的间隙过大。

再次实验。

许秋又取来三片PEN基片,用3M电工胶布贴好图案后,反复用镊子按压胶布的所在部位,使之与基片尽量贴合。

然后,他在三个新的一次性塑料杯中加入稀盐酸,并倒入两勺锌粉。

等待五秒钟后,他将三片基片各自放入一个塑料杯中,同时按下秒表。

每隔40秒钟,捞出一片基片,随后用去离子水冲洗干净,撕下上面贴有的3M电工胶布。

许秋通过肉眼观察,蚀刻时间为40秒、80秒的基片,均得到了完好的图案。

而蚀刻时间为120秒的基片,ITO图案的边缘有被酸液腐蚀的痕迹,不过相较于上一次实验,痕迹变得不明显。

这说明将胶布与基片紧密贴合,对于防止酸液渗入胶布下面起到了一定的作用。

肉眼可能会骗人,为了确保蚀刻成功,许秋从工具箱中取出万用表,测量基片上被蚀刻部位的导通情况。

将万用表调至导通模式,如果两个红黑表笔之间的电阻很小,万用表就会发出“滴”的声音。

经过检测,三个基片被蚀刻部位都是不导通的,而ITO本身是良好的导体,这表明裸露在外的ITO成功被蚀刻。

因此,蚀刻时间为40秒和80秒的条件都是可行的。

许秋最终选择了一个中间值,蚀刻1分钟。

…………

摸索好实验条件后,许秋制备了12片图案化的PEN/ITO基片。

虽然中途有一片因为胶布没有粘牢而失败了,但是不影响大局。

随后,他用异丙醇清洗基片,接着用氮气枪吹干,装入培养皿中。

接下来的旋涂操作,许秋又遇到了新的问题。

PEN基片无法被匀胶机上方的平台吸牢,在高速旋转的过程中,基片有时会直接飞出去。

许秋想了想,将PEN基片贴在了与之同等大小的玻璃片上,然后再进行旋涂。

顺利解决问题。

涂好PEDOT:PSS后,许秋将基片上的玻璃片取下,然后在100摄氏度下退火,擦片。

之后,他又重新在基片上贴好玻璃片,传入旋涂的手套箱内。


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